k-Space寬帶隙半導(dǎo)體原位溫度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)與Veeco取得合作

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k-Space CEO Darryl Barlett：“ k-Space和Veeco在分子束外延（MBE）沉積市場(chǎng)上有著長(zhǎng)期成功的合作伙伴關(guān)系。我們與Veeco緊密合作，提供了直接與Veeco的控制軟件進(jìn)行通訊的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量工具，從而為終用戶提供了對(duì)其沉積過程的完整監(jiān)控。我們很高興在此多沉積腔室VeecoGEN200®MBE系統(tǒng)上集成多種半導(dǎo)體薄膜測(cè)量設(shè)備”

1.kSA UV BandiT設(shè)計(jì)用于在高溫計(jì)無法測(cè)量的范圍內(nèi)對(duì)寬帶隙半導(dǎo)體進(jìn)行原位溫度監(jiān)測(cè)，包括在紅外和可見光波長(zhǎng)范圍內(nèi)透明的基板的溫度。 kSA UV BandiT通過基于帶邊的吸收光譜在200-500 nm范圍內(nèi)監(jiān)控溫度。

2.kSA MOS是完整的曲率，應(yīng)力，反射率和增長(zhǎng)率原位測(cè)量?jī)x器。 k-Space工程師創(chuàng)建了一個(gè)自定義配置，其中包括標(biāo)準(zhǔn)kSA MOS測(cè)量和380-1100 nm范圍內(nèi)的光譜反射率監(jiān)視的功能。

kSA BandiT和kSA MOS均使用kSA技術(shù)。

3.kSA 400是功能強(qiáng)大的分析反射高能電子衍射（RHEED）系統(tǒng)，具有先進(jìn)的軟件。該系統(tǒng)捕獲靜態(tài)和實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，并使用軟件中強(qiáng)大的分析工具來分析RHEED數(shù)據(jù)。

Veeco將把kSA以上的3種工具整合到多沉積室GEN200 MBE系統(tǒng)中，該系統(tǒng)配置用于生長(zhǎng)氮化物。 GEN200是一種高性能，高性價(jià)比的多4英寸晶圓生產(chǎn)MBE系統(tǒng)，已在先進(jìn)的生產(chǎn)MBE設(shè)施中使用。

k-Space將于今年夏天交付該集成系統(tǒng)，以便終在客戶現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行安裝。我們十分期待該系統(tǒng)在國內(nèi)能為Veeco用戶提供強(qiáng)有力的幫助！