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薄膜應(yīng)力測試系統(tǒng)（kSA MOS Film Stress Measurement System），又名薄膜應(yīng)力計或薄膜應(yīng)力儀！ 采用非接觸MOS激光技術(shù)；不但可以對樣品表面應(yīng)力分布進(jìn)行統(tǒng)計分析，而且還可以進(jìn)行樣品表面二維應(yīng)力、曲率成像分析；并且這種設(shè)計始終保證所有陣列的激光光點始終在同一頻率運(yùn)動或掃描，從而有效的避免了外界振動對測試結(jié)果的影響；同時大大提高了測試的分辨率；適合各種材質(zhì)和厚度。